Porous Ceramic Vacuum Chuck bakeng sa ho Sebetsana le Wafer e Kobehileng
Sekotwana sa letsopa se nang le masoba sa St.Cera se entsoe ka alumina e hloekileng haholo e nang le masoba a bulehileng a lekanang a 30–45% le boholo ba masoba a tlohang ho 10 ho isa ho 100 μm. Ho fapana le li-chuck tse tloaelehileng tse nang le masoba, bokaholimo ba masoba bo fana ka vacuum e arolelanoang ho pholletsa le wafer eohle ka morao, e tšoara hantle li-wafer tse sothehileng, tse tšesaane, kapa tse se nang letho ntle le ho phahamisoa kapa ho robeha ka bohale. Vacuum e bonolo (e ka fetoloang ka restrictor) e boetse e thibela ho tšoaea ka morao.
Litlhaloso(ho ipapisitsoe le 99.6% Al₂O₃):
| Thepa | Boleng |
| Ho ba le masoba | 30–45% |
| Boholo ba Meno a Mahareng | 10–100 μm (e ka khethoa) |
| Matla a ho Tenyetseha | ≥250 MPa |
| Bophara (ho feta 300mm) | ≤5 μm |
| Qetello ea Bokaholimo | E kobehileng (Ra 0.8 μm) |
| Boemo bo phahameng ba ho Hloekisa ba Vacuum | -80 kPa |
| Mocheso oa Ts'ebetso | 400°C (moea), 600°C (e sa sebetseng hantle) |
| Thepa | 99.6% Al₂O₃, ZrO₂, kapa SiC |
Likopo:
Sekotwana se sesesaane sa wafer (≤50 μm) se silang ka morao
Ho kenya wafer e sothehileng bakeng sa ho seha
Ho nkuoa ha die e le 'ngoe ho tsoa theiping
Ho sebetsana le phanele ea khalase
Tlhahiso le Boleng:
Phofo ea letsopa e tsoakiloeng le li-pore formers tsa tlhaho → e hatelitsoeng → e sintered → e kopantsoe ho fihlela botenya ba ho qetela. Chuck ka 'ngoe e lekoa ka phallo bakeng sa ho tšoana ha vacuum (≤5% deviation) 'me e hlahlojoa bakeng sa kabo ea boholo ba pore (SEM). Bophara bo lekanngoa ka laser interferometer.
Melemo ho feta Grooved Chucks:
Ha ho na letšoao la bohale ba wafer kapa phetoho ea ho shoa
E tšoara li-wafer tse sothehileng (ho fihlela ho 500 μm)
E felisa ho koaleha ha masoba a vacuum
Tšehetso ea ho ikamahanya le maemo bakeng sa li-substrate tse tšesaane
Ho iketsetsa:
Dibopeho tse chitja kapa tse khutlonnetsepa, boholo bo fihlang ho 600 mm. Re ka sebelisa masale a ho tiisa mahlakore kapa likarolo tsa vacuum tsa libaka. Mefuta e tšehelitsoeng ka tšepe e fumaneha bakeng sa litlhoko tsa ho tiea ho hoholo.
Kopa sampole bakeng sa boholo ba wafer le teko ea warpage ea hau.
