Pin e Tšehetsang ea Ceramic bakeng sa Lisebelisoa tsa Ts'ebetso ea Semiconductor
Li-pin tse tšehetsang tsa St.Cera's ceramic (tse tsejoang hape e le li-pin tse phahamisang kapa li-pin tse tšehetsang) li sebelisoa likamoreng tsa ts'ebetso ea semiconductor ho phahamisa li-wafer kapa li-substrate nakong ea ho sebetsana, ho futhumatsa, kapa ho pholisa. Li entsoe ka 99.8% alumina kapa silicon nitride, li-pin tsena li fana ka matla a phahameng a ho hatella, botsitso ba mocheso, le ho hanyetsa lik'hemik'hale. Moralo oa hemispherical kapa o bataletseng o thibela ho ngoapa ha li-wafer.
Litlhaloso(Alumina 99.8%):
| Thepa | Boleng |
| Thepa | 99.8% Al₂O₃ kapa Si₃N₄ |
| Bolelele | 10 – 100 mm |
| Bophara | 1 – 10 mm |
| Sebopeho sa Ntlha | Sephara, se chitja, se otlolohile |
| Matla a ho Hatella (Al₂O₃) | >2000 MPa |
| Mocheso o Phahameng oa Ts'ebetso (Al₂O₃) | 1600°C |
| Qetello ea Bokaholimo | E rapaletse (Ra ≤0.4 μm) |
| Mamello ka bophara | ± 0.01 mm |
Likopo:
Li-lift pin ka likamoreng tsa CVD/PVD
Lithakhisa tsa tšehetso bakeng sa ho baka ka hotplate
Meaho ea tšehetso ea karete ea probe
Litšehetso tsa sekepe sa sebōpi sa Quartz
Tlhahiso:
Ho sila ka nepo ntle le setsi ha OD → ho sila ka taemane ha ntlha ya profaele → ho hlwekisa ka ultrasound → tlhahlobo ya 100%.
Taolo ea Boleng:
CMM bakeng sa bolelele/bophara, mohlahlobi oa optical bakeng sa radius ea ntlha, teko ea mojaro ho netefatsa matla a khatello (sampole e sa reroang ka lotho). Ha ho na tšilafalo ea ferromagnetic (e netefalitsoeng ka makenete).
Melemo ho feta Li-Pins tsa Tšepe kapa tsa Quartz:
Nako ea bophelo e telele ka makhetlo a 5 ho feta tšepe e sa hloekang
Ha ho na tšilafalo ea tšepe ka phapusing ea ts'ebetso
Bokhoni ba mocheso bo phahameng ho feta quartz (1600°C vs 1100°C)
Bokaholimo bo sa khomareleng (ho khomarela ha likaroloana ho fokotsehile)
Ho iketsetsa:
Liprofaele tse ngata tsa ntlha, motheo o nang le khoele, kapa moalo o nang le tapered.
Re boetse re fana ka li-SiC pins bakeng sa libaka tse feteletseng tsa plasma.
