Sekoti sa Ceramic Vacuum Chuck se Thehiloeng ho Alumina bakeng sa ho Sebetsana le Wafer e Nyenyane

Sekotwana sa St.Cera se nang le masoba se entsoeng ka alumina se entsoe ka 99.6% Al₂O₃ e hloekileng haholo e nang le masoba a bulehileng a laoloang a 30–45% le boholo ba masoba a lekanang bo tlohang ho 10 ho isa ho 50 μm. Ho fapana le li-chuck tse nang le masoba, bokaholimo ba masoba bo fana ka vacuum e arolelanoang ho pholletsa le wafer eohle ka morao, ho felisa matšoao a bohale le ho nolofalletsa ho tšoara ka bonolo li-wafer tse tšesaane haholo (≤100 μm) kapa tse sothehileng. Thepa ena e fana ka matla a ho thiba ≥250 MPa le botsitso ba mocheso ho fihlela ho 400°C moeeng.

Litlhaloso(ho ipapisitsoe le 99.6% Al₂O₃):

Likopo:

• · Sekotwana se sesesaane sa wafer (≤50 μm) se silang ka morao
• · Sehokelo sa wafer se sothehileng bakeng sa ho seha
• · Ho nkuoa ha die ka bonngoe
• · Ho sebetsana le substrate ea khalase

Tlhahiso:

Phofo e tsoakiloeng le li-pore formers → ho hatella ka isostatic → ho sintering ka 1600°C → ho lahlela ho fihlela botenya ba ho qetela. Chuck ka 'ngoe e lekoa ka phallo bakeng sa ho tšoana ha vacuum (khatello e khelohileng <5%) 'me e hlahlojoa bakeng sa kabo ea boholo ba pore (SEM).

Melemo ho feta li-chuck tsa setso:

• · Ha ho na letshwao la wafer ka morao kapa die shift
• · E tšoara li-wafer tse nang le seqha se fihlang ho 500 μm
• · Sebaka se itlhoekisang (mathoko a letlalo a hanela ho kwala)
• · Tšehetso e tšoanang e felisa khatello ea maikutlo sebakeng seo

Cmokhoa oa ho fetola:

Dibopeho tse chitja kapa tse sekoere, bophara ba 100–450 mm. Lesale la ho kwala la moedi le fumaneha bakeng sa taolo ya vacuum e nang le dibaka.

Kopa sampole bakeng sa boholo ba wafer ea hao bo itseng.