-
Letsoho la Roboto ea Alumina Ceramic e Hloekileng ka ho Fetisisa bakeng sa ho Tšoara Wafer
Letsoho la roboto la alumina la St.Cera le entsoe ka nepo ho tsoa ho 99.8% Al₂O₃ (alumina) e hloekileng haholo. Le kopanya matla a ikhethang a ho kokomoha (361 MPa), ho thatafala ho hoholo (16 GPa), le ho ba le boima bo tlase (3.93 g/cm³), e leng se etsang hore letsoho le be bobebe empa le tiile bakeng sa phetiso ea wafer ea semiconductor. Coefficient ea katoloso ea mocheso ea thepa (7.2×10⁻⁶/°C) e ts'oana le silicon haufi-ufi, e fokotsa ho se lumellane ha mocheso nakong ea ts'ebetso.
-
Bernoulli Ceramic End Effector — Ho Sebetsana le Wafer e sa Kopaneng le e Senyehileng bakeng sa Wafer e Nyenyane le e Fokolang Hantle
Sesebediswa sa ho qetela sa ceramic sa St.Cera's Bernoulli se sebedisa aerodynamic lift ho sebetsana le di-wafer ntle le ho ama mmele. Se entswe ka alumina ya 99.8% e hlwekileng haholo (Al₂O₃) kapa silicon carbide (SiC), se na le di-nozzle tse entsweng ka nepo tse ntshang kgase e hatelletsoeng ho etsa filimi e tshesane ya moya pakeng tsa sesebediswa sa ho qetela le wafer. Molao-motheo ona wa ho se ame o fedisa tshilafatso ya lehlakore le ka morao, ho qhaqha ha lehlakore, le tshenyo ya bokahodimo, e leng se etsang hore e be e loketseng di-wafer tse tshesane (≤100 μm), tse pshatlehang habonolo, kapa tse sothehileng. Substrate ya ceramic e fana ka matla a ho thiba a phahameng (361 MPa bakeng sa Al₂O₃; ho fihlela ho 550–600 MPa bakeng sa SiC), boima bo tlase, le botsitso bo botle ba sebopeho, ho netefatsa hore ho ka phetwa sebaka dirobotong tsa phetisetso ya wafer tse lebelo le hodimo.
-
Teflon Coated Ceramic End Effector – Sebaka se sa Khomareleng bakeng sa ho Sebetsana le Wafer e Bonolo
Sephetho sa ceramic se koahetsoeng ka Teflon (PTFE) sa St.Cera se kopanya substrate ea alumina e matla haholo le seaparo sa PTFE se ts'oanang, se nang le khohlano e tlase (botenya ba 15-30 μm). Seaparo sena se fana ka coefficient e tlase haholo ea khohlano (≤0.1), khanyetso e ntle ea lik'hemik'hale, le thepa e sa khomareleng, e thibelang ho khomarela ha wafer le ho felisa tšilafalo ea mokokotlo. Substrate ea ceramic e ka tlase (99.8% Al₂O₃) e fana ka matla a phahameng a ho thekesela (361–1000 MPa), khanyetso ea ho tsofala, le botsitso ba mocheso ho fihlela ho 260°C (moeli oa ho roala). Sephetho sena se loketse ho sebetsana le li-wafer tse bonolo, tse tšesaane, kapa tse khomarelang (mohlala, kamora ho roala ka photoresist kapa lits'ebetso tsa lik'hemik'hale).
